無錫市副市長周文棟，無錫高新區(qū)黨工委副書記、管委會副主任、新吳區(qū)委副書記、區(qū)長章金偉，區(qū)領(lǐng)導(dǎo)洪延煒、華艷紅，無錫先導(dǎo)智能裝備股份有限公司董事長、先導(dǎo)集團(tuán)董事長王燕清出席活動并共同啟動首發(fā)儀式。

 

　　章金偉在致辭中表示

 

　　集成電路是無錫高新區(qū)的優(yōu)勢產(chǎn)業(yè)，產(chǎn)業(yè)規(guī)模突破了千億大關(guān)。先導(dǎo)集團(tuán)作為裝備制造和服務(wù)的龍頭企業(yè)，正在加快布局集成電路高端設(shè)備、關(guān)鍵材料。先導(dǎo)集成電路裝備與材料產(chǎn)業(yè)園是無錫高新區(qū)集成電路產(chǎn)業(yè)“5+X”新格局的重要環(huán)節(jié)，孵化出了天芯微等一批集成電路行業(yè)明星企業(yè)。天芯微自成立以來，立足自主研發(fā)，全力攻克各項技術(shù)難題，產(chǎn)品達(dá)到國際先進(jìn)水平，部分核心性能已經(jīng)超過國際同類產(chǎn)品，取得了重大突破。

 

　　無錫高新區(qū)將堅定不移實施創(chuàng)新驅(qū)動核心戰(zhàn)略，進(jìn)一步集成政策、優(yōu)化服務(wù)、豐富生態(tài)，助推全區(qū)各類企業(yè)做大做強(qiáng)，加速打造國內(nèi)一流、國際知名“6+2+X”現(xiàn)代產(chǎn)業(yè)體系，一如既往秉承“尊商、親商、安商、富商”理念，為企業(yè)發(fā)展提供最有力的支持、最高效的服務(wù)、最全面的保障，攜手譜寫合作共贏新篇章。

 

　　王燕清表示

 

　　全球貿(mào)易市場、制造業(yè)領(lǐng)域風(fēng)云變幻，半導(dǎo)體核心裝備和材料的研發(fā)、制造尤為不易，在無錫市、無錫高新區(qū)的關(guān)心和支持下，先導(dǎo)集成電路裝備和材料產(chǎn)業(yè)園已先后投資孵化了天芯微、微導(dǎo)納米、先為科技、元夫半導(dǎo)體、吳越半導(dǎo)體等一大批優(yōu)質(zhì)企業(yè)，其中微導(dǎo)納米于本月率先成功過會。目前，園區(qū)已經(jīng)引進(jìn)了20多個半導(dǎo)體高端技術(shù)研發(fā)團(tuán)隊、150名以上核心科學(xué)家和博士隊伍以及數(shù)千名高級應(yīng)用人才，助力產(chǎn)業(yè)提升。

 

　　江蘇天芯微半導(dǎo)體設(shè)備有限公司是先導(dǎo)集團(tuán)旗下的一家集成電路高端裝備制造商，公司核心團(tuán)隊來自全球領(lǐng)先的半導(dǎo)體設(shè)備公司，擁有25年的先進(jìn)半導(dǎo)體裝備研發(fā)、制造經(jīng)驗。公司以硅基外延技術(shù)為核心，致力于半導(dǎo)體前道關(guān)鍵工藝設(shè)備的研發(fā)與制造，為集成電路行業(yè)提供極具競爭力的高端設(shè)備和高品質(zhì)的服務(wù)。

 

　　為了解決客戶痛點，滿足客戶需求，天芯微決定在無錫高新區(qū)實施半導(dǎo)體外延設(shè)備產(chǎn)業(yè)化項目，立志于突破國際半導(dǎo)體設(shè)備巨頭在該領(lǐng)域的技術(shù)壁壘，保障業(yè)內(nèi)先進(jìn)芯片生產(chǎn)制造。

 

　　天芯微此次發(fā)布的Epi300CompassAP硅基外延減壓設(shè)備是半導(dǎo)體前道工藝中的關(guān)鍵設(shè)備，廣泛應(yīng)用于功率器件、28nm及以下先進(jìn)制程的邏輯、存儲器件的生產(chǎn)制造。Epi300CompassAP的各項性能均達(dá)到了國際先進(jìn)水平，部分核心性能已經(jīng)超過國際同類產(chǎn)品，并得到了客戶的肯定。