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徐州開發(fā)區(qū)多晶硅產(chǎn)業(yè)鏈繼續(xù)攀高拉長
來源:未知 日期:2016-08-03 點擊:次
徐州經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)多晶硅產(chǎn)業(yè)鏈攀高拉長取得新成果,有協(xié)鑫集團(tuán)投資的半導(dǎo)體級多晶硅和CVD法碳化硅沉積項目正在中能硅業(yè)有序?qū)嵤?,前者將一舉突破中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)在原料端的短板,后者將填補(bǔ)國內(nèi)在石墨碳化涂層領(lǐng)域的空白,都將全面打破國外企業(yè)的壟斷格局,進(jìn)一步鞏固中能硅業(yè)作為全球最大多晶硅研發(fā)制造商的領(lǐng)先領(lǐng)跑地位。
據(jù)了解,協(xié)鑫集團(tuán)聯(lián)手國家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金會,共同進(jìn)軍半導(dǎo)體多晶硅產(chǎn)業(yè)。目前,首期年產(chǎn)5000噸半導(dǎo)體用電子級多晶硅項目的基礎(chǔ)設(shè)施已全部完工,關(guān)鍵設(shè)備也已定制完成,預(yù)計今年年底可進(jìn)行調(diào)試,預(yù)計2017年可給國內(nèi)晶圓批量供貨,2018年可覆蓋國內(nèi)所有半導(dǎo)體生產(chǎn)廠家。其中,首期年產(chǎn)5000噸半導(dǎo)體用電子級多晶硅中,安排生產(chǎn)國外對我國實施技術(shù)封鎖的區(qū)熔級多晶硅1000噸。區(qū)熔級多晶硅主要應(yīng)用在特高壓、高鐵變頻、充電樁等高端電器上面,價格高出直拉電子級多晶硅3倍左右。該項目建成后,將突破中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)在原料端的短板,成為繼美國Hemlock、德國Wacker之后世界第三的半導(dǎo)體級多晶硅新材料基地。
另據(jù)了解,CVD法碳化硅沉積項目是硅基材料的一個延伸,其產(chǎn)品碳化硅涂層具有熔點高、硬度大、強(qiáng)度高、耐腐蝕、抗氧化等特點,可廣泛應(yīng)用于化工、電子、航天、光伏、半導(dǎo)體等產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域,建成后年產(chǎn)碳化硅涂層165爐。CVD法碳化硅沉積項目的建成投產(chǎn),將打破國外企業(yè)對這一行業(yè)的壟斷局面,填補(bǔ)國內(nèi)在石墨碳化涂層材料的空白,進(jìn)一步解決國內(nèi)企業(yè)不斷增長的實際需求,推動第三代半導(dǎo)體材料產(chǎn)業(yè)加快發(fā)展。